|
60 В нагревательной камере печи использован трехсекционный нагреватель в виде единой спирали из проволоки диаметром 5 мм (сплав ЭИ-626) с четырьмя отпайками от крайних и центральной секций. Для обеспечения необходимой длины однородной температурной зоны и надежного подавления сетевых возмущений использовалась трехканальная система терморегулирования с функциональным преобразованием сигнала управления в каналах системы РЕПИД-1. В качестве датчика температуры применена стабильная высокотемпературная термопара платииаплатинородий (Р( Р( +10% НИ). Внешние изменения температуры окружающей среды учитываются компенсатором холодных концов, включенным в разрыв одного из концов термопары. Пленки ФГ выращивались из раствора в расплаве РЬО В203 на подложках диаметром до 25 мм. Гранатообразующие окислы и компоненты расплава обычно находились в соотношении (в молярных %) |
пленок ферритов-гранатов использовалась установка, которая была создана на основе блоков, выпускаемых промышленностью для изготовления полупроводниковых приборов, и имела следующие технические характеристики: а) максимальная температура +1250 °С; б) точность поддержания температуры ± 0.5°С; в) воспроизводимость температурного уровня +1 °С. Блок-схема установки показана на рис. 2.4. В нижнем отсеке бокса расположена печь, в качестве которой использована нагревательная камера источника диффузионной печи; в верхнем отсеке аппаратура вертикального перемещения и вращения держателя с подложкой. В непосредственной близости от бокса расположена приборная стойка, в VV* которой размещается регулятор температуры РЕПИД-1, панель с блоками тиристоров и силовыми трансформаторами. Верхняя герметическая часть бокса РоШЯШтеда,ВЙкКай^й:т‘йЖ.испо;,ьзован трехсекционный нагреватель в виде единой спирали из проволоки диаметром 5 мм (сплав ЭИ-626) с четырьмя отпайками от крайних и центральной секций. Для обеспечения необходимой длины однородной температурной зоны и надежного подавления сетевых возмущений использовалась трехканальная система терморегулирования с функциональным преобразованием сигнала управления в каналах системы РЕПИД-1. В качестве датчика температуры применена стабильная высокотемпературная термопара платинаплатинородий (Р/ — Р( + 10% Р/г). Внешние изменения температуры окружающей среды учитываются компенсатором холодных концов, включенным в разрыв одного из концов термопары. Пленки ФГ выращивались из раствора в расплаве РЬО — В202 на подложках диаметром до 25 мм. Гранатообразующие окислы и компоненты расплава обычно находились в соотношении (в молярных %) 59 * |