62 Я2Оъ: Ре202: РЪО: Л203 = 0,5 :12,0:82,4:5,1. Крепление подложек в держателе обеспечивало их горизонтальное положение в расплаве. Двухи трехслойные монокристаллическис пленки ферритов-гранатов были получены методом жидкофазной эпитаксии путем последовательного наращивания слоев на подложки из гадолиний-галлиевого граната с ориентацией (111) из различных растворов в расплаве. Толщину пленок И в диапазоне /? > 0,8 мкм измеряли с помощью стандартного интерференционного метода на установке, конструкция которой подробно описана в [64]. Интерференционная картина создавалась лучами света, отраженными от границ раздела пленка/воздух и пленка/подложка. При измерениях изменяли длину волны Л падающего света и регистрировали число интерференционных полос N, проходящих через фиксированную точку на поверхности пленки в диапазоне от Л1 до Л1. Значение к рассчитывали как: N 2п(л;'-к')’ (2.2.2) где п показатель преломления пленки. Величина п не измерялась и при расчете к принималась равной /? = 2.4. Толщину пленок в диапазоне к < 0.8мкм, в частности, в экспериментах по послойному стравливанию определяли по времени полного стравливания. Скорость травления определялась на пленках, толщину которых можно было измерить интерференционным методом. Для стабилизации скорости травления температуру кислоты поддерживали с точностью ±1°С, а перед экспериментом се выдерживали при постоянной температуре в течение не менее 24 часов. Промежуточные значения толщины при послойном стравливании находили также по интенсивности линии ФМР [65]. |
держателе обеспечивало их горизонтальное положение в расплаве. Двухи трехслойные монокрметаллические пленки ферритов-гранатов были получены методом жидкофазной эпитаксии путем последовательного наращивания слоев на подложки из гадолиний-галлиевого граната с ориентаТолщипу пленок И в диапазоне И > 0,8 мкм измеряли с помощью стандартного интерференционного метода на установке, конструкция которой подробно описана в [86]. Интерференционная картина создавалась лучами света, отраженными от границ раздела пленка/воздух и пленка/подложка. При измерениях изменяли длину волны Л падающего света и регистрировали число интерференционных полос N, проходящих через фиксированную точку на поверхности пленки в диапазоне от \ до Значение И рассчитывали как: где п показатель преломления пленки. Величина /7 не измерялась и при расчете И принималась равной /7 = 2.4. Толщину пленок в диапазоне И < 0.8 мкм, в частности, в экспериментах по послойному стравливанию определяли по времени полного стравливания. Скорость травления определялась на пленках, толщину которых можно было измерить интерференционным методом. Для стабилизации скорости травления температуру кислоты поддерживали с точностью ± 1 °С, а перед экспериментом ее выдерживали при постоянной температуре в течение не менее 24 часов. Промежуточные значения толщины при послойном стравливании находили также по интенсивности линии ФМР [87]. цией (111) из различных растворов в расплаве. (2.6) |